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Sol-gel-verfahren Für Die Herstellung Von Zirkoniumdioxidschichten: Schichtcharakterisierung Und Anwendung Als Hartmaskenmaterialien in Der Halbleitertechnik Cornelia Klein German edition
Sol-gel-verfahren Für Die Herstellung Von Zirkoniumdioxidschichten: Schichtcharakterisierung Und Anwendung Als Hartmaskenmaterialien in Der Halbleitertechnik
Cornelia Klein
| Media | Books Paperback Book (Book with soft cover and glued back) |
| Released | August 4, 2011 |
| ISBN13 | 9783838127873 |
| Publishers | Südwestdeutscher Verlag für Hochschulsch |
| Pages | 192 |
| Dimensions | 150 × 11 × 226 mm · 304 g |
| Language | German |