OEcal Tuna

Wzrost i charakterystyka cienkich warstw ITO metod? rozpylania magnetronowego OEcal Tuna

W tej pracy cienkie warstwy tlenku cyny indu (ITO) byly hodowane zarówno technik? rozpylania magnetronowego DC jak i RF. Aby poznac szybko?c osadzania ITO, system zostal skalibrowany zarówno dla DCMS jak i RFMS, a nast?pnie ITO byly uprawiane na szklanym podlo?u o grubo?ci 70 nm i 40 nm poprzez zmian? temperatury podlo?a. Zbadano wplyw temperatury podlo?a, grubo?ci warstwy i metody napylania na wla?ciwo?ci strukturalne, elektryczne i optyczne. Wyniki pokazuj?, ?e temperatura podlo?a i grubo?c folii znacz?co wplywa na wla?ciwo?ci folii, zwlaszcza na krystalizacj? i rezystywno?c. Cienkie warstwy hodowane w temperaturze ni?szej ni? 150 oC wykazywaly struktur? amorficzn?. Jednak?e, krystalizacja byla wykrywana wraz z dalszym wzrostem temperatury podlo?a. Szczelina pasmowa ITO zostala obliczona na okolo 3.64eV w temperaturze podlo?a 150 oC i zwi?kszala si? wraz ze wzrostem temperatury podlo?a. Z pomiarów elektrycznych wynika, ?e rezystywno?c w temperaturze pokojowej wynosila 1.28×10-4 i 1.29×10-4 D-cm, odpowiednio dla folii napylanych pr?dem stalym i pr?dem przemiennym. Zmierzyli?my równie? zale?no?c rezystywno?ci od temperatury oraz wspólczynnik Halla folii, a tak?e obliczyli?my koncentracj? no?ników i ruchliwo?c Halla.