Elaboration De Films De (La,sr)2nio4 et (Ba,sr)tio3 Par Ablation Laser: Croissance Épitaxiale De Perovskites Sur Substrat Silicium Pour L'intégration ... De Forte Capacité - Ludovic Goux - Books - Presses Académiques Francophones - 9783838149196 - February 28, 2018
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Ludovic Goux
Elaboration De Films De (La,sr)2nio4 et (Ba,sr)tio3 Par Ablation Laser: Croissance Épitaxiale De Perovskites Sur Substrat Silicium Pour L'intégration ... De Forte Capacité French edition

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Cette étude est une tentative d?épitaxie par ablation laser de l?oxyde de forte permittivité Ba0.6Sr0.4TiO3 (BST) sur silicium en vue de l?intégration de condensateurs de forte capacité. Nous montrons d?abord l?effet bénéfique d?une croissance de BST orientée selon les plans (h00) sur substrat monocristallin SrTiO3(100) sur la valeur de la permittivité du film. Comme par ailleurs nous confirmons que la croissance du BST sur substrat Pt(111)/TiOx/SiO2/Si (0

Media Books     Paperback Book   (Book with soft cover and glued back)
Released February 28, 2018
ISBN13 9783838149196
Publishers Presses Académiques Francophones
Pages 224
Dimensions 13 × 150 × 220 mm   ·   352 g
Language German  

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